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質量流量控制器的結構原理

什么是質量流量控制器?

由于質量流量控制器通過測量流體的質量流量來控制流量,因此無需因環境溫度、工作壓力等的變化而進行修正,實現了高精度、穩定的流體測量和控制??赡艿?,這是一種可能的裝置。在流量計、針閥等基于體積流量的流量控制中,當需要一定程度的準確流量時,需要根據溫度、壓力等的變化進行修正。質量流量控制器/質量流量計用于需要高精度流量測量和控制的領域,例如半導體和平板顯示器,以及分析、燃料電池、液晶、有機EL、生物技術、文化、食品、環境廣泛應用于控制、工廠設備、實驗設備等所有過程和設備中。Fcon的質量流量控制器/質量流量計采用追求基本性能技術,使其可用于廣泛的領域,同時降低成本,提高產品性能和可靠性,設計專門從事基本功能的低價產品.我的目標是制造。

質量流量控制器的原理與結構

如下圖所示,質量流量控制器的基本結構由流量傳感器、旁路、閥門和控制電路組成。

常用的熱敏傳感器是電流通過纏繞在不銹鋼毛細管上下游兩側的電阻產生熱量。當沒有氣體流動時,上下游電阻器的熱量保持平衡,流量輸出信號顯示為零。

從入口進入的氣體被分流到傳感器并旁路。當氣體流入傳感器時,上游側和下游側的電阻之間出現溫差,失去熱平衡,傳感器的溫度分布發生變化。這種變化被橋式電路捕獲并作為流量輸出信號取出。比較從外部輸入的流量設定信號和傳感器的流量輸出信號,流量控制閥進行PID運算(比例、積分、微分)使各自的信號電平匹配,閥門自動動作. 由于開度微調,可在始終設定穩定流量的條件下控制流量。

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