日本shibaura芝浦機(jī)電真空計(jì)傳感器單元

產(chǎn)品名稱: 日本shibaura芝浦機(jī)電真空計(jì)傳感器單元

產(chǎn)品型號(hào): GP-1

產(chǎn)品特點(diǎn): 日本shibaura芝浦機(jī)電真空計(jì)傳感器單元
傳感器單元GP-1是Pilani真空計(jì)，可測(cè)量3,000 Pa至0.4 Pa。
通過(guò)從常規(guī)控制器上取消操作和顯示并縮小到小的必要功能，該真空計(jì)可以“降低成本"和“節(jié)省空間"。

日本shibaura芝浦機(jī)電真空計(jì)傳感器單元 的詳細(xì)介紹

日本shibaura芝浦機(jī)電真空計(jì)傳感器單元

GP-1的功能

傳感器規(guī)格：不需要壓力指示器時(shí)-
降低真空計(jì)的成本-
節(jié)省控制面板周圍的空間
并節(jié)省布線
等
可維護(hù)性：易于更換測(cè)針
燈絲材料：使用鉑（Pt）
，耐腐蝕性能吉家的鉑用作燈絲材料。
可以使用WP系列手寫筆：可以直接使用您一直使用的手寫筆
控制輸出信號(hào)：可以輸出2個(gè)設(shè)定點(diǎn)
測(cè)量值輸出信號(hào)：壓力為0至5V輸出（非線性輸出）
電源電壓：可以通過(guò)DC24V輸入進(jìn)行操作用

用于半導(dǎo)體和電子零件等各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域的過(guò)程控制
用于各種工業(yè)設(shè)備（例如熔爐）的低真空區(qū)域中的過(guò)程控制
用于在具有許多處理腔室的各種制造設(shè)備的低真空區(qū)域中進(jìn)行過(guò)程控制，例如在線型和片材型規(guī)范

類型		傳感器單元
模型		GP-1
自適應(yīng)手寫筆		WP-01，WP-02，WP-03，WP-16
測(cè)量壓力范圍		4.0 x 10 ^-1至3.0 x 10 ³ Pa
測(cè)量精度		±15％（51 Pa至760 Pa） ±30％（10 Pa至1,000 Pa） ±50％（0.4 Pa至3,000 Pa）
工作溫度極限		10-40℃
采樣時(shí)間		50毫秒5次移動(dòng)平均處理
測(cè)量值輸出		非線性輸出：DC 0至5 V（大10 V）
	更新時(shí)間	50毫秒
	解析度	10毫伏
設(shè)定點(diǎn)1/2調(diào)整輸出		非線性輸出：DC 0至5 V（大10 V）
控制輸出信號(hào)		集電極開(kāi)路，負(fù)邏輯錯(cuò)誤信號(hào) 設(shè)定點(diǎn)1/2
LED顯示屏		功率，誤差，設(shè)定點(diǎn)1/2
電源電壓		直流24 V±2 V，90 mA
輸入/輸出連接器		D-sub-15P（M2.6螺絲）
身體質(zhì)量		190克（不包括手寫筆）
配件		輸入/輸出連接器1套使用說(shuō)明書1份