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技術(shù)文章

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)

適用于大型基板上的薄膜制造和 PDMS 的表面處理涂布機(jī)SC-708系列


特征

  • 大型基板全鍍膜的離子濺射設(shè)備

  • 濺射靶材可提供相隔 1 英寸的尺寸,例如 4'/5'/6'/7'/8'。

  • 在形成微通道流路以及濺射薄膜制造時(shí)支持 PDMS 表面處理

  • 配備鍍膜模式/蝕刻模式



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 反光膜制作應(yīng)用

  • 樣品表面親水化處理應(yīng)用(蝕刻方式)

  • PDMS表面處理應(yīng)用(蝕刻模式)等



基本規(guī)格

陰極φ4-8英寸/2極對向電極
濺射電流
蝕刻電流
0-50mA(包括電流表)
濺射電壓
蝕刻電壓
0.8 / 1.4kV
氣體引入機(jī)制針閥
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:100l/min(帶自動漏氣)
腔室尺寸內(nèi)徑φ240mm x D240mm(SUS制)
樣品交換方式前門開閉式
樣本量最大φ4 ~ 8 英寸
尺寸(寬/深/高)主體:282/450 / 440mm
RP:460/175 / 265mm
重量身體:約20kg
RP:23kg





特殊規(guī)格示例

SC-704AT
SC-704AT
膜厚可控全自動機(jī)型

SC-704MC
SC-704MC
磁控陰極采用型號
(無蝕刻/交流濺射功能)



聯(lián)系人:林經(jīng)理
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